四氟化碳（CF4） _ 气候变化导致的温室气体 /

ELT-FGA传感器系列（气体分析仪）

早上好，这是ELT传感器。

今天，我们将了解导致气候变化的温室气体之一四氟化碳_CF4，并简要介绍ELT Sensor的CF4（四氟化碳）测量传感器和气体分析仪产品FGA传感器。

什么是气候变化？

这是指随着大气中温室气体的浓度增加,地球表面的平均温度上升的现象(温室效应)。

以前用全球变暖来表示,但最近气候变化一词的使用频率更高。

引起温室效应的代表性温室气体是占温室气体80%的二氧化碳(CO2)。 但是,从全球变暖指数来看,四氟化碳(CF4)是比二氧化碳强1000倍的温室气体。



什么是四氟化碳（CF4）？

四氟化碳（CF4）

在半导体制造工艺和铝生产过程中产生的气体

来源:NAVER，知识百科

因此，为防止半导体制造过程中CF4泄漏，必须采用洗涤器工艺，在此过程中，必须分阶段进行四氟化碳水平的测量。

ELT传感器的FGA传感器产品系列是NDIR（非分散红外测量）传感器，除了CF4(四氟化碳)外，在测量半导体行业使用的气体浓度方面也具有卓越的性能。

     产品名称

    FGA-5000（CF4测量仪）

     用途和特点

     CF4四氟化碳浓度测量

     测量方法

     NDIR（非色散红外）

     测量范围

     0~5,000ppm

     (0~300ppm、0~500ppm低浓度、高浓度等

      测量范围可单独订购)

     输入功率

     DC12V(12~15V)

ELT SENSOR 的四氟化碳 (CF4) 浓度计根据所需的测量范围和类型制造并交付给国内外公司。

此外，它还可以测量多种类型的气体，例如甲烷 (CH4)、三氟化氮 (NF3)、一氧化二氮 (N2O) 和乙炔 (C2H2)。

如果您对此有任何疑问，请联系 ELT Sensor 客户中心，我们将竭诚为您服务。请联系 ELT Sensor 客户中心。

我们将竭诚为您提供建议。